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AT-820a 光罩檢測設備(入料檢測 & 制程中檢測)
 
型號:AT-820a
AT-820a在不開啟SMIF POD的情況下,檢測光罩表面的微塵,在不開啟SMIF POD情況下,不僅可避免微塵污染光罩表面,亦可在生產過程中更早發現缺陷。
 
  • 詳細說明

 檢測模組

 功能

 主圖形區外之檢測

 空白光罩的微塵檢測

 主圖形區之檢測

 光罩曝光後、蝕刻後的微塵檢測

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