UNICORN-600 Series

★於2014年榮獲台積電設備品質獎★

◎ 特點:

  • 適用於 45 nm – 7 nm 製程中的 Mask Inspection

  • Pin-Hole 檢測

  • Inner Frame、Pellicle Side 之 Particle 檢測

  • 專用演算法分析 Particle 位於膜上 / 膜下

  • 高精度缺陷位置檢測

應用:

  • 用於 Mask Shops 之 OQC

  • 用於 Pellicle Manufacturers