UNICORN-620 Series

UNICORN-620 Series
★於2016年榮獲台積電品質獎第一名​★

◎ 特點:

  • 適用於 28 nm – 5 nm 製程中之Mask Inspection

  • 檢測時不需開啟 SMIF POD,無二次汙染之疑慮

  • Mask Shop 之光罩製程 Blank / ADI / AEI 微塵即時監控

  • 用於 EUV 光罩背面 / 裸片之微塵即時監控

  • 高精度缺陷位置檢測

◎ 應用:

  • 用於 Mask Shops Processing Inspection

  • 用於 Mask Blank Manufacturers