UNICORN-640 Series

◎ 特點:

  • 適用於 EUV 光罩檢測

  • Pattern Side、Pellicle Side 之 Particle 檢測

  • 專用演算法分析 Particle 位於膜上 / 膜下

  • 高精度缺陷位置檢測

◎ 應用:

  • 用於 Mask Shops 之 EUV Mask OQC

  • 用於 Pellicle Manufacturer