UNICORN-640 Series

★於2014年榮獲台積電設備品質獎★

◎ 特點:

  • 適用於 45 nm – 7 nm 製程中的 Mask Inspection
  • Pin-Hole 檢測
  • Inner Frame、Pellicle Side 之 Particle 檢測
  • 專用演算法分析 Particle 位於膜上 / 膜下
  • 高精度缺陷位置檢測

應用:

  • 用於 Mask Shops 之 OQC
  • 用於 Pellicle Manufacturers