UNICORN-640E Pro Series

◎ 特點:

  • 適用於 EUV 光罩檢測
  • Pattern Side、Pellicle Side 之 Particle 檢測
  • 專用演算法分析 Particle 位於膜上 / 膜下
  • 高精度缺陷位置檢測

◎ 應用:

  • 用於 Mask Shops 之 EUV Mask OQC
  • 用於 Pellicle Manufacturer