UNICORN-660 Series

◎ 特點:

  • 適用於 45 nm – 16 nm 製程中的 Mask 檢測

  • 快速檢測光罩背面與防塵膜表面之缺陷

  • 可搭配天車系統進行光罩全自動檢測

  • 高精度缺陷位置檢測

◎ 應用:

  • 用於 Foundries 之 IQC Inspection

  • 用於 Foundries 之 Routine Inspection

  • 用於 Pellicle Manufacturers