UNICORN-600 Series

★于2014年荣获台积电设备品质奖★

◎ 特点:

  • 适用于 45 nm – 7 nm 制程中之 Mask Inspection

  • Pin-Hole 检测

  • Inner Frame、Pellicle Side 之 particle 检测

  • 专用演算法分析 particle 位于膜上 / 膜下

  • 高精度缺陷位置检测

应用:

  • 用于 Mask Shops 之 OQC

  • 用于 Pellicle Manufacturers