UNICORN-620 Series

UNICORN-620 Series
★于2016年荣获台积电品质奖第一名​★

◎ 特点:

  • 适用于 28 nm – 5 nm 制程中之 Mask Inspection

  • 检测时不需开启 SMIF POD,无二次污染之疑虑

  • Mask Shop 之光掩膜制程 Blank / ADI / AEI 微尘即时监控

  • 用于 EUV 光掩膜背面 / 裸片之微尘即时监控

  • 高精度缺陷位置检测

◎ 应用:

  • 用于 Mask Shops Processing Inspection

  • 用于 Mask Blank Manufacturers