UNICORN-640 Series ★于2014年荣获台积电设备品质奖★ ◎ 特点: 适用于 45 nm – 7 nm 制程中之 Mask Inspection Pin-Hole 检测 Inner Frame、Pellicle Side 之 particle 检测 专用演算法分析 particle 位于膜上 / 膜下 高精度缺陷位置检测 ◎ 应用: 用于 Mask Shops 之 OQC 用于 Pellicle Manufacturers