UNICORN-660 Series

◎ 特点:

  • 适用于 45 nm – 16 nm 制程中的 Mask 检测

  • 快速检测光掩膜背面与防尘膜表面之缺陷

  • 可搭配天车系统进行光掩膜全自动检测

  • 高精度缺陷位置检测

◎ 应用:

  • 用于 Foundries 之 IQC Inspection

  • 用于 Foundries 之 Routine Inspection

  • 用于 Pellicle Manufacturers