UNICORN-600 Series

★2014年TSMC設備品質賞受賞★

◎ 特長:

  • 45 nm – 7 nm プロセスのマスク検査に対応

  • ピンホール検査

  • Inner Frame、Pellicle Side のパーティクル検査

  • 膜上 / 膜下のパーティクルを分析する専用アルゴリズム

  • 高精度の欠陥位置検出技術

◎ 対象

  • マスクショップの OQC

  • Pellicle Manufacturers