UNICORN-620N Series

UNICORN-620 Series
★​2016年TSMC品質賞第1位★

◎ 特長:

  • 28 nm – 5 nm プロセスのマスク検査に対応
  • SMIF POD の開閉が不要なため、検査時に新たな汚染がない
  • Blank / ADI / AEI における細塵リアルタイムモニタリング
  • EUV マスク裏面 / ダイの細塵リアルタイムモニタリング
  • 高精度の欠陥位置検出技術

◎ 対象:

  • マスクショップの Processing Inspection
  • Mask Blank Manufacturers