UNICORN-640 Series

◎ 特長:

  • EUV マスク検査に対応

  • Pattern Side、Pellicle Side のパーティクル検査

  • 膜上 / 膜下のパーティクルを分析する専用アルゴリズム

  • 高精度の欠陥位置検出技術

◎ 対象:

  • マスクショップの EUV マスク OQC

  • Pellicle Manufacturers