UNICORN-640E Pro Series

◎ 特長:

  • EUV マスク検査に対応
  • Pattern Side、Pellicle Side のパーティクル検査
  • 膜上 / 膜下のパーティクルを分析する専用アルゴリズム
  • 高精度の欠陥位置検出技術

◎ 対象:

  • マスクショップの EUV マスク OQC
  • Pellicle Manufacturers