UNICORN-660 Series

◎ 特長:

  • 45 nm – 16 nm プロセスのマスク検査に対応
  • マスク裏面と防塵保護膜の欠陥を迅速に検出
  • 自動搬送システムと連動した全自動検査
  • 高精度の欠陥位置検出技術

◎ 対象:

  • ファウンドリの IQC
  • ファウンドリの Routine Inspection
  • Pellicle Manufacturers