UNICORN-760 Series

◎ 效益:

  • 不因IRIS检测设备异常,影响ASML设备稼动率

◎ 应用:

  • 45 – 16 nm 制程中先进半导体元件的光掩膜检测
  • Foundries 之光掩膜进货 / 曝光前检测