UNICORN-840 Series

★于2014年荣获台积电设备品质奖★

◎ 效益:

  • 提高KLA设备稼动率与节省上机成本
  • 数据化判定微尘,取代过去人工目检

应用:

  • 45 – 7 nm 制程中先进半导体元件的光掩膜检测
  • Mask Shop 之 OQC
  • Pellicle Manufacturer