UNICORN-820 Series

UNICORN-620 Series
★于2016年荣获台积电品质奖第一名​★

◎ 效益

  • 数据化判定微尘发生之制程站别,提高产品良率
  • 验证新设备洁净度,助于新设备上线前之预判,提高产品良率

◎ 应用:

  • 28 – 5 nm 制程中先进半导体元件的光掩膜检测
  • Mask Shop 之光掩膜各站制程监控