艾斯邁科技股份有限公司

◎ 效益：

• 數據化判定微塵發生之製程站別，提高產品良率
  

• 驗證新設備潔淨度，助於新設備上線前之預判，提高產品良率
  

◎ 應用：

• 28 – 5 nm 製程中先進半導體元件的光罩檢測
  

• Mask Shop 之光罩各站製程監控