AceMach Co., Ltd.

◎ 特長：

• 45 nm – 16 nm プロセスのマスク検査に対応

• マスク裏面と防塵保護膜の欠陥を迅速に検出

• 自動搬送システムと連動した全自動検査

• 高精度の欠陥位置検出技術

◎ 対象：

• ファウンドリの IQC

• ファウンドリの Routine Inspection

• Pellicle Manufacturers