UNICORN-840E Pro Series ◎ 特長： EUV マスク検査に対応 Pattern Side、Pellicle Side のパーティクル検査 膜上 / 膜下のパーティクルを分析する専用アルゴリズム 高精度の欠陥位置検出技術 ◎ 対象： マスクショップの EUV マスク OQC Pellicle Manufacturers
