◎ 2020

  • 推出第一代 Defect Classification System
  • 推出第二代 EUV Pellicle Inspection Tool

◎ 2019

  • 扩展研发中心
  • 推出第三代 Through POD Mask Inspection Tool
  • 推出第三代 OQC Mask Inspection Tool
  • 推出第二代 EUV Mask Inspection Tool
  • 研发 Optical CD Measure 量测技术
  • 研发 Defect Classification 之 AI 分类技术

◎ 2018

  • 推出第一代 EUV Pellicle Inspection Tool
  • 推出第一代 EUV Mask Inspection Tool
  • 研发 Foundry 适用之 Optical Mask 检测技术

◎ 2017

  • 推出第二代 Through POD Mask Inspection Tool
  • 取得3张发明专利
  • 研发并投入 EUV Mask & EUV Pellicle 检测技术

◎ 2016

  • 推出第二代 OQC Mask Inspection Tool
  • 取得6张新型专利

◎ 2015

  • 推出第一代 Through POD Mask Inspection Tool
  • 投入 Through POD Mask 检测技术

◎ 2014

  • 研发 Through POD Mask 检测技术
  • 推出第一代 OQC Mask Inspection Tool
  • 研发并投入 Mask Shop 适用之 Optical Mask 检测技术

◎ 2012

  • 取得1张新型专利

◎ 2011

  • 改制艾斯迈科技股份有限公司

◎ 2003

  • 成立艾斯迈科技有限公司