◎ 2019

  • 扩展研发中心

  • 推出第三代 Through POD Mask Inspection Tool

  • 推出第三代 OQC Mask Inspection Tool

  • 推出第二代 EUV Mask Inspection Tool

  • 开始研发 Optical CD Measure 之量测技术

  • 开始研发 Defect Classification 之 AI 分类技术

◎ 2018

  • 推出第一代 EUV Pellicle Inspection Tool

  • 推出第一代 EUV Mask Inspection Tool

  • 开始研发 Foundry 适用之 Optical Mask 检测技术

◎ 2017

  • 推出第二代 Through POD Mask Inspection Tool

  • 开始研发及投入 EUV Mask 及 EUV Pellicle 之检测技术

◎ 2016

  • 推出第二代 OQC Mask Inspection Tool

◎ 2015

  • 推出第一代 Through POD Mask Inspection Tool

  • 开始投入 Through POD Mask 之检测技术

◎ 2014

  • 开始研发 Through POD Mask 检测技术

  • 推出第一代 OQC Mask Inspection Tool

  • 开始研发及投入 Mask Shop 适用之 Optical Mask 检测技术

◎ 2011

  • 成立艾斯迈科技股份有限公司