◎ 2019

  • 擴展研發中心

  • 推出第三代 Through POD Mask Inspection Tool

  • 推出第三代 OQC Mask Inspection Tool

  • 推出第二代 EUV Mask Inspection Tool

  • 開始研發 Optical CD Measure 之量測技術

  • 開始研發 Defect Classification 之 AI 分類技術

◎ 2018

  • 推出第一代 EUV Pellicle Inspection Tool

  • 推出第一代 EUV Mask Inspection Tool

  • 開始研發 Foundry 適用之 Optical Mask 檢測技術

◎ 2017

  • 推出第二代 Through POD Mask Inspection Tool

  • 開始研發及投入 EUV Mask 及 EUV Pellicle 之檢測技術

◎ 2016

  • 推出第二代 OQC Mask Inspection Tool

◎ 2015

  • 推出第一代 Through POD Mask Inspection Tool

  • 開始投入 Through POD Mask 之檢測技術

◎ 2014

  • 開始研發 Through POD Mask 檢測技術

  • 推出第一代 OQC Mask Inspection Tool

  • 開始研發及投入 Mask Shop 適用之 Optical Mask 檢測技術

◎ 2011

  • 成立艾斯邁科技股份有限公司