UNICORN-840 Series

★於2014年榮獲台積電設備品質獎★

◎ 效益:

  • 提高KLA設備稼動率與節省上機成本
  • 數據化判定微塵,取代過去人工目檢

應用:

  • 45 – 7 nm 製程中先進半導體元件的光罩檢測
  • Mask Shop 之 OQC
  • Pellicle Manufacturer